汉代以来，“VP不”式中的“不”开始出现了虚化的迹象，而到了魏晋及南北朝，语气词“不”已经产生，并出现了一些较典型的例句。如：
（3）宁能使不痛不耶？（东汉·支娄迦谶《道行般若经》卷五）
（4）桓南郡每见人不快，辄叹云：“君得哀家梨，当复不蒸食不？”（《世说新语·轻诋》）
例（3）、例（4）中“VP”前已经有否定词“不”，后面不需要再用一个“不”来构成双重否定的反复问句，因而可以确定“不”已经虚化为语气词了。再如：
（5）彼今复以欲心观察我等以不？或无欲心观察我等以不？（隋·阇那崛多《佛本行集经》卷二十七）
例（5）已经有两个选择项，句末自然不能再带上表示否定的“不”，因而也可确定“不”是语气词。
（二）语法化的具体机制
吴福祥认为和“不”所处的句法位置有关。他说：“‘不’最初的位置是居于谓语之前，用作状语。当‘VP不’格式产生后，‘不’便离开其正常的位置被置于句尾。这种句法位置及组合关系的变化使‘不’与谓词间的关系不太密切，特别是在谓词的宾语结构异常复杂的句子里，‘不’与谓词之间因宾语结构过长而相隔甚远，使二者之间的语义关系显得越发模糊，正反对举的语义也就不太明确。同时，还可能受‘VP乎/耶’形式的类化影响。”[5]吴文的观点很有见地，“不”确实是在这样一种句法环境中演变为语气词的。汉语史上其他一些词，也是因为居于句末，词义逐渐虚化而成为语气词。至于“不”在演变过程中受到了“VP乎/耶”式的类化影响，遇笑容、曹广顺也表达了相同观点[6]。